化学反応に伴って生じるルミネッセンスをケミルミネッセンスといいます。酸化物やアルカリが液体シンチレーター中にわずかでも存在していたり，酸化還元反応が起こると，この現象が生じます。これによる計数は温度を下げても，また，同時計数法によっても除去されません。ケミルミネッセンスを抑制するには，酢酸，クエン酸，アスコルビン酸，鉱酸または塩酸などを加えて中和します。また，数時間放置によって減衰させるか，ケミルミネッセンスのパルスは小さいので，ゲインによってカットします。